发明名称 LASER INTERFEROMETER
摘要
申请公布号 JPH11237207(A) 申请公布日期 1999.08.31
申请号 JP19980038713 申请日期 1998.02.20
申请人 TOKYO SEIMITSU CO LTD 发明人 OSAWA NOBUYUKI
分类号 G01B9/02;G01B11/26;(IPC1-7):G01B9/02 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
主权项
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