发明名称 COMPOUND SEMICONDUCTOR SUBSTRATE AND ELIMINATING METHOD OF DEFECTIVE COMPOUND SEMICONDUCTOR ELEMENT
摘要
申请公布号 JPH11238772(A) 申请公布日期 1999.08.31
申请号 JP19980040324 申请日期 1998.02.23
申请人 DAIDO STEEL CO LTD 发明人 YASUURA KENJI
分类号 G01B11/30;G01N21/88;G01N21/93;G01N21/956;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G01B11/30
代理机构 代理人
主权项
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