发明名称 THERMAL PROCESSING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11238662(A) 申请公布日期 1999.08.31
申请号 JP19980039328 申请日期 1998.02.20
申请人 TOKYO ELECTRON LTD 发明人 SHIRAKAWA HIDEKAZU;SATA NOBUYUKI
分类号 H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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