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经营范围
发明名称
THERMAL PROCESSING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH11238662(A)
申请公布日期
1999.08.31
申请号
JP19980039328
申请日期
1998.02.20
申请人
TOKYO ELECTRON LTD
发明人
SHIRAKAWA HIDEKAZU;SATA NOBUYUKI
分类号
H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027
主分类号
H01L21/027
代理机构
代理人
主权项
地址
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