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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11238878(A) 申请公布日期 1999.08.31
申请号 JP19980038581 申请日期 1998.02.20
申请人 SHARP CORP 发明人 SAOTOME TAKAHIRO
分类号 H01L21/28;H01L21/336;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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