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发明名称
摘要
申请公布号	JP2943383(B2)	申请公布日期	1999.08.30
申请号	JP19910096493	申请日期	1991.04.26
申请人	NIPPON DENKI KK	发明人	HIROTA TOSHUKI
分类号	H01L21/316;H01L21/318;H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):H01L27/04	主分类号	H01L21/316
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