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发明名称
摘要
申请公布号 JP2942213(B2) 申请公布日期 1999.08.30
申请号 JP19970085015 申请日期 1997.04.03
申请人 TOKYO OKA KOGYO KK;TATSUMO KK 发明人 SAGO HIROHITO;KUDO KATSUHIKO;NAKAYAMA MUNEO;HASHIMOTO MICHIO;KAWAKAMI KAZUYUKI
分类号 G03F7/16;B05C11/08;G02F1/13;H01L21/027;(IPC1-7):B05C11/08 主分类号 G03F7/16
代理机构 代理人
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