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发明名称
摘要
申请公布号	JP2941732(B2)	申请公布日期	1999.08.30
申请号	JP19970064468	申请日期	1997.03.18
申请人	TOSHIBA KK	发明人	SUNAOSHI HITOSHI
分类号	H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027	主分类号	H01L21/027
代理机构		代理人
主权项
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