| 发明名称 |
Microwave excitation plasma processing apparatus |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0777257(B1) |
申请公布日期 |
1999.08.25 |
| 申请号 |
EP19960110433 |
申请日期 |
1996.06.27 |
| 申请人 |
KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA |
发明人 |
YAMAUCHI, TAKESHI IBA;AOKI, KATSUAKI BA |
| 分类号 |
H01J37/32;(IPC1-7):H01J37/32 |
主分类号 |
H01J37/32 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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