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发明名称
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申请公布号 JP2942998(B2) 申请公布日期 1999.08.30
申请号 JP19900105493 申请日期 1990.04.23
申请人 HYUNDAI EREKUTORONIKUSU AMERIKA;ENU SHII AARU INTERN INC;SHINBAIOSU ROJITSUKU INC 发明人 SAMYUERU SHII JOOYA
分类号 H01L21/336;H01L21/8238;H01L27/092;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/823 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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