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<p>단자 전극의 알루미늄 표면의 산화, 압력 접촉 저항의 증가, 접속 신뢰도의 불안전 및 감소를 방지하기 위한 간단한 방법이 제공된다. 리액티브 매트릭스 기판 상의 단자 전극부에서, 외부 구동 회로에 접속되기 위하여, 접속 전극들이 알루미늄 또는 알루미늄 합금을 사용하여 형성되고, 최소한 TCP에 접속된 표면은 산화 알루미늄의 절연막 또는 산화 알루미늄 및 수산화 알루미늄의 박막으로 구성되는 절연막으로 덮이고, 이 절연막은 셀 형성 공정에서 최종 단계의 다음 단계에서 선택적으로 제거된다. 이와 같은 방식으로, 어레이 형성 공정에서의 어닐링 및 셀 형성 공정의 배향막 소결(sintering) 등과 같은 열처리 공정과 세정시 접속 전극 표면의 산화의 악영향이 방지될 수 있다.</p> |
