| 发明名称 |
Microsystem with integrated circuit and micromechanical component and fabrication procedure |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0679878(B1) |
申请公布日期 |
1999.08.25 |
| 申请号 |
EP19950106099 |
申请日期 |
1995.04.24 |
| 申请人 |
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
ZETTLER, THOMAS, DR. |
| 分类号 |
G12B3/00;B81B3/00;B81C1/00;G01L1/14;G01P15/08;H01H1/00;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/308;H01L21/70;H01L21/8234;H01L27/06;H01L29/84;H01L49/00;H02N1/00;H03H9/24;(IPC1-7):G01L1/14;G01P15/125 |
主分类号 |
G12B3/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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