| 发明名称 |
Resist materials and processes of their use |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0515079(B1) |
申请公布日期 |
1999.08.25 |
| 申请号 |
EP19920304287 |
申请日期 |
1992.05.12 |
| 申请人 |
AT&T CORP. |
发明人 |
HANSON, JAMES EDWARD;NOVEMBRE, ANTHONY EDWARD |
| 分类号 |
G03F7/004;G03F7/20;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/312;(IPC1-7):G03F7/004 |
主分类号 |
G03F7/004 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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