| 摘要 |
<p>본 발명은 높은 전계 강도에서 고체로부터 진공으로 전자를 방출하는 전계 방출 장치(field emission device)의 기술분야에 관한 것이다. 본 발명은 또한 그의 제작방법과 매트릭스 어레이(matrix array), 특히 평판 표시기에서의 그의 용도에 관한 것이다. 본 발명에 따른 전계 방출 장치는 게이트(gate) 전극에 의해 형성된 각 개구(5)에 배열된 다수의 팁(tip)(2)을 포함한다. 소정의 게이트-음극 전압이 인가되면, 하나 이상의 팁이 진공으로 전자를 방출한다. 모두 거의 같은 높이를 갖는 팁(2)은 단결정질 규소(1) 또는 다결정질 규소(6)로 구성되며, 그 말단은 각각 단결정질 규소 층(1) 또는 다결정질 규소 층(6)과 절연체(3)의 하부 경계층에 위치한다.</p> |
