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摘要
申请公布号 JP2939355(B2) 申请公布日期 1999.08.25
申请号 JP19910090401 申请日期 1991.04.22
申请人 TOKYO EREKUTORON KK 发明人 FUKAZAWA KAZUO;SUETSUGU MASACHIKA
分类号 H01L21/205;C23C14/56;C23C16/44;H01J37/32;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/205;H01L21/306 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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