| 摘要 |
<p>피처리물의 오염방지, 처리시간의 단축이 가능한 처리장치, 레이저 어닐의 품질향상 및 제조비용의 절감을 도모한 레이저 어닐장치, 레이저 어닐방법, 제조장치 및, 평면표시장치의 기판제조장치를 제공한다. 기판제조장치의 성막장치(2)는 반송로(A)에 따라 배치된 카세트 스테이션(12)을 구비하고, 카세트 스테이션과 대향하고 유리기판에 성막하는 처리부(21)가 설치되어 있다. 처리부 및 카세트 스테이션에 인접하여 스핀 세정유닛(16)이 설치되어 있다. 카세트 스테이션과 처리부와의 사이에 설치된 반송로보트(15)는 카세트 스테이션으로부터 유리기판을 수취, 스핀 세정유닛으로 반송하고, 세정후의 유리기판을 스핀 세정유닛으로부터 처리부로 직접 반송한다.</p> |
