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发明名称 SPUTTERING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11229138(A) 申请公布日期 1999.08.24
申请号 JP19980044492 申请日期 1998.02.09
申请人 MURATA MFG CO LTD 发明人 TANAKA TSUTOMU
分类号 H05H1/48;C23C14/34;C23C14/54;(IPC1-7):C23C14/34 主分类号 H05H1/48
代理机构 代理人
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