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发明名称
METHOD FOR SYNTHESIZING HARD CARBON NITRIDE FILM
摘要
申请公布号
JPH11229147(A)
申请公布日期
1999.08.24
申请号
JP19980052712
申请日期
1998.02.19
申请人
NACHI FUJIKOSHI CORP;ITO HARUHIKO;SAITO HIDETOSHI
发明人
KANDA KAZUTAKA;ITO HARUHIKO;SAITO HIDETOSHI
分类号
C23C16/34;C23C16/511;(IPC1-7):C23C16/34
主分类号
C23C16/34
代理机构
代理人
主权项
地址
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