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发明名称 VACUUM DEPOSITION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11229140(A) 申请公布日期 1999.08.24
申请号 JP19980037279 申请日期 1998.02.19
申请人 TOSHIBA GLASS CO LTD 发明人 NAKAMURA HIROYUKI
分类号 C23C14/50;(IPC1-7):C23C14/50 主分类号 C23C14/50
代理机构 代理人
主权项
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