发明名称 FILM FORMING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11229134(A) 申请公布日期 1999.08.24
申请号 JP19980052752 申请日期 1998.02.18
申请人 AGENCY OF IND SCIENCE & TECHNOL 发明人 NAGANUMA KATSUYOSHI;SONODA TSUTOMU;KAMIYA AKIRA;KATO MAKOTO
分类号 C23C14/34;C23C14/50;(IPC1-7):C23C14/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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