| 发明名称 |
EVACUATING SYSTEM AND ITS OPERATING METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11230034(A) |
申请公布日期 |
1999.08.24 |
| 申请号 |
JP19980052982 |
申请日期 |
1998.02.18 |
| 申请人 |
EBARA CORP |
发明人 |
KAWAMURA TAKESHI;NIIMURA YOSHIHIRO |
| 分类号 |
F04B37/16;H01L21/02;H01L21/205;(IPC1-7):F04B37/16 |
主分类号 |
F04B37/16 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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