| 发明名称 |
REMOVING AGENT FOR TITANIUM ALUMINUM NITRID COATING FILM AND REMOVING METHOD OF TIALN COATING FILM USING THE SAME |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11229164(A) |
申请公布日期 |
1999.08.24 |
| 申请号 |
JP19980031019 |
申请日期 |
1998.02.13 |
| 申请人 |
MITSUBISHI HEAVY IND LTD |
发明人 |
EGAWA TSUNEO;IMAYADO AKIO;HAMASHIMA TAKUMI;MORIMOTO SATOSHI;KOBAYASHI TOSHIRO |
| 分类号 |
C23F1/00;C23F1/38;(IPC1-7):C23F1/00 |
主分类号 |
C23F1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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