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发明名称
摘要
申请公布号 JP2936950(B2) 申请公布日期 1999.08.23
申请号 JP19930082607 申请日期 1993.03.16
申请人 NITSUSHIN DENKI KK 发明人 NUKAYAMA MASAAKI;ANDO YASUNORI;MORIMOTO HIROSHI
分类号 C23C14/48;H01J37/08;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/317 主分类号 C23C14/48
代理机构 代理人
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