发明名称 半导体装置之静电保护电路及其结构
摘要 一种半导体装置之静电保护电路及其结构,可提升静电保护能力,且具有较高密度结构。该半导体装置可与一焊垫连接,而该静电保护结构系利用一在电晶体汲极扩散区与焊垫扩散区间之淡掺杂电阻或井区电阻,以使静电电压自该焊垫输入时,在该电阻处产生压降,进而形成一寄生双载子电晶体,以传导因该静电放电产生之电流,此外依据该结构,则可组成一静电保护电路。
申请公布号 TW367609 申请公布日期 1999.08.21
申请号 TW085102006 申请日期 1996.02.16
申请人 世界先进积体电路股份有限公司 发明人 张明鉴
分类号 H01L23/60 主分类号 H01L23/60
代理机构 代理人 詹铭文 台北巿罗斯福路二段一○○号七楼之一
主权项 1.一种半导体装置之静电保护结构,系与一焊垫连接,该静电保护结构包括:一基底;至少一个金氧半电晶体,形成于该基底,该电晶体具有源/汲极扩散区、一在该源/汲极扩散区间之通道区、及自该源/汲极扩散区向通道区延伸之淡掺杂源/汲极;一焊垫扩散区,形成于上述电晶体之汲极扩散区侧,用以与该焊垫及半导体装置连接;及一淡掺杂电阻,形成于该焊垫扩散区与汲极扩散区之间,用以使上述静电电压自该焊垫输入时,在该电阻处产生压降。2.如申请专利范围第1项所述之结构,其中,该半导体装置为一输出电路结构。3.如申请专利范围第1项所述之结构,其中,该焊垫为一输入/输出垫。4.如申请专利范围第1项所述之结构,其中,该基底为一P型矽基底。5.如申请专利范围第4项所述之结构,其中,该电阻为一淡掺杂N型离子扩散区。6.一种半导体装置之静电保护结构,其中,该半导体装置与一焊垫连接,该静电保护结构包括:一基底;至少一金氧半电晶体,形成于该基底,该电晶体具有源/汲极扩散区、一在该源/汲极扩散区间之通道区、及自该源/汲极扩散区向通道区延伸之淡掺杂源/汲极;一焊垫扩散区,形成于上述电晶体之汲极扩散区侧,用以与该焊垫及半导体装置连接;及一井区电阻,形成于该焊垫扩散区与汲极扩散区之间,用以使上述静电电压自该焊垫输入时,在该电阻处产生压降。7.如申请专利范围第6项所述之结构,其中,该半导体装置为一输出电路结构。8.如申请专利范围第6项所述之结构,其中,该焊垫为一输入/输出垫。9.如申请专利范围第6项所述之结构,其中,该基底为一P型矽基底。10.如申请专利范围第9项所述之结构,其中,该电阻为一N井电阻。11.一种半导体装置之静电保护电路,系与一焊垫连接,该静电保护电路包括:至少一金氧半电晶体,其源极接地,闸极则控制该电晶体导通与否;至少一淡掺杂电阻,一端连接所对应该电晶体之汲极,另一端则分别与该焊垫、半导体装置连接,用以于上述静电电压自该焊垫输入时,在该电阻处产生压降;及一寄生双载子电晶体,其基极、射极接地,集极分别与该焊垫、淡掺杂电阻、及半导体装置连接,用以传导因该静电放电产生之电流。12.如申请专利范围第11项所述之电路,其中,该半导体装置为一拉升电晶体。13.如申请专利范围第12项所述之电路,其中,该金氧半电晶体为一拉降电晶体。14.一种半导体装置之静电保护电路,系与一焊垫连接,该静电保护电路包括:至少一金氧半电晶体,其源极接地,闸极则控制该电晶体导通与否;至少一井区电阻,一端连接所对应该电晶体之汲极,另一端则分别与该焊垫、半导体装置连接,用以于上述静电电压自该焊垫输入时,在该电阻处产生压降;及一寄生双载子电晶体,其基极、射极接地,集极分别与该焊垫、淡掺杂电阻、及半导体装置连接,用以传导因该静电放电产生之电流。15.如申请专利范围第14项所述之电路,其中,该半导体装置为一拉升电晶体。16.如申请专利范围第15项所述之电路,其中,该金氧半电晶体为一拉降电晶体。图式简单说明:第一图为习知具静电保护装置之输出电路示意图;第二图为习知另一静电保护装置之半导体结构顶视图;第三图系显示一依据本发明之实施例中,具抗静电放电能力之输入、输出电路第四图系显示一依据第三图之实施例,将拉升电晶体以PMOS取代之具抗静电放电能力的输出电路;第五图系显示一依据第三图输出电路之半导体结构的部分剖面;第六图系显示一依据第五图半导体结构之顶视图;第七图A系显示一在第五图之半导体结构中,内建二极体之等效电路图;第七图B系显示一在第五图之半导体结构中,内建寄生双载子电晶体之等效电路图;及第八图系显示一依据第三图输出电路14之另一种半导体结构。
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