| 主权项 |
1.一种光阻涂布装置,用来以经由喷嘴喷涂之光阻涂布在旋转夹盘上旋转之晶圆,该装置包含有:一喷嘴驱动装置,移动该喷嘴从该晶圆之边缘侧至其中心以进行扫描涂布;一马达,用以相对于该喷嘴的位置提供不同的旋转力在该旋转夹盘上;一控制装置,用以藉由确认由该喷嘴驱动工具从该晶圆边缘侧移动至中心的该喷嘴的位置渐渐地增加该马达的旋转速度。2.如申请专利范围第1项之光阻涂布装置,其中该控制装置被建构成使得该马达的旋转速度是在该喷嘴从该晶圆的边缘侧扫描至其中心时非线性地渐渐增加。3.如申请专利范围第1项之光阻涂布装置,其中该控制装置被建构成使得该马达的旋转速度是在该喷嘴从该晶圆的边缘侧扫描至其中心时线性地渐渐增加。4.一种晶圆的光阻涂布方法,其中系在一喷嘴从该晶圆的边缘侧扫描至其中心时喷涂光阻,在该扫描动作期间该晶圆的旋转速度会增加。图式简单说明:第一图为显示传统光阻涂布装置之示意图;第二图为显示根据本发明之光阻涂布装置之一实施例之示意图;第三图显示出旋转速度在光阻喷涂期间相对于区间而不同之晶圆的涂布表面。第四图为显示根据本发明之一实施例之方块图。 |
