| 发明名称 |
DISPOSITIF ET PROCEDE DE GRAVURE PAR IONS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR2764110(B1) |
申请公布日期 |
1999.08.20 |
| 申请号 |
FR19970006553 |
申请日期 |
1997.05.28 |
| 申请人 |
UNIVERSITE PIERRE ET MARIE CURIE (PARIS VI) |
发明人 |
BRIAND JEAN PIERRE |
| 分类号 |
H01J37/305;H01J37/317;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01J37/304 |
主分类号 |
H01J37/305 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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