摘要 |
<P>En utilisant le procédé de double incrustation, on forme des fenêtres de contact (22, 24, 26) avec des profondeurs différentes en définissant un motif dans une seule couche diélectrique (18). De plus, une couche de métal qui est formée à l'intérieur de régions de connexion (20) est utilisée à titre d'interconnexions sans traitement supplémentaire, ce qui simplifie le processus de fabrication et réduit son coût.</P> |