Absorptions-Phasenverschiebungsmaske und Herstellungsverfahren dafür,申请号DE19944435773-传众专利搜索

发明名称	Absorptions-Phasenverschiebungsmaske und Herstellungsverfahren dafür
摘要
申请公布号	DE4435773(C2)	申请公布日期	1999.08.19
申请号	DE19944435773	申请日期	1994.10.06
申请人	DAINIPPON PRINTING CO.;ULVAC COATING CORP.;MITSUBISHI DENKI K.K.	发明人	ISAO, AKIHIKO;KAWADA, SUSUMU;YOSHIOKA, NOBUYUKI
分类号	G03F1/00;(IPC1-7):G03F1/14	主分类号	G03F1/00
代理机构		代理人
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