METHOD FOR PRODUCING ONE OR SEVERAL CRYSTALLIZED CERAMIC THIN LAYERS AND COMPONENT WITH SUCH A LAYER

摘要

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung einer oder mehrerer kristallisierter keramischer Schichten, insbesondere Dünnschichten, wobei wenigstens eine keramische Schicht auf einer geeigneten Unterlage gebildet wird und mit UV-Licht bestrahlt wird. Dazu wird die Schicht mit UV-Licht kontinuierlich bestrahlt. Es kann dabei eine Energiedichte des UV-Lichtes derart gewählt sein, dass die Eindringtiefe des Lichtes die Schichtdicke der keramischen Schicht nicht überschreitet, insbesondere die Eindringtiefe des Lichtes der Schichtdicke der keramischen Schicht entspricht. Als Lichtquelle kann eine Lampe mit einem hohen Anteil UV-Licht, insbesondere eine Hg-, Xe- oder Hg(Xe)-Lampe zum Einsatz kommen.