发明名称 |
Kalibrierungssystem für die Analyse von ultrahoch reinen Gasen |
摘要 |
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申请公布号 |
DE69228724(T2) |
申请公布日期 |
1999.08.19 |
申请号 |
DE19926028724T |
申请日期 |
1992.08.14 |
申请人 |
PRAXAIR TECHNOLOGY |
发明人 |
LEGGERT, GREGORY HOWARD;SONRICKER, MICHAEL HAROLD |
分类号 |
B01F3/02;G01N33/00;(IPC1-7):G01N1/00;H01J49/00 |
主分类号 |
B01F3/02 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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