发明名称 Kalibrierungssystem für die Analyse von ultrahoch reinen Gasen
摘要
申请公布号 DE69228724(T2) 申请公布日期 1999.08.19
申请号 DE19926028724T 申请日期 1992.08.14
申请人 PRAXAIR TECHNOLOGY 发明人 LEGGERT, GREGORY HOWARD;SONRICKER, MICHAEL HAROLD
分类号 B01F3/02;G01N33/00;(IPC1-7):G01N1/00;H01J49/00 主分类号 B01F3/02
代理机构 代理人
主权项
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