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发明名称 METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 EP0780891(A4) 申请公布日期 1999.08.18
申请号 EP19960922271 申请日期 1996.07.09
申请人 ROHM CO., LTD. 发明人 SAKAMOTO, KAZUHISA
分类号 H01L29/73;H01L21/263;H01L21/331;H01L21/336;H01L29/30;H01L29/732;H01L29/74;H01L29/78;H01L29/861;(IPC1-7):H01L21/322 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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