发明名称 |
Method and apparatus for investigating the physical properties of material surface layer |
摘要 |
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申请公布号 |
EP0819934(B1) |
申请公布日期 |
1999.08.18 |
申请号 |
EP19970108094 |
申请日期 |
1997.05.19 |
申请人 |
JAPAN SCIENCE AND TECHNOLOGY CORPORATION |
发明人 |
IKEGAMI, HIDETSUGU |
分类号 |
G21K7/00;G01N23/00;G01N23/22;(IPC1-7):G01N23/22 |
主分类号 |
G21K7/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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