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经营范围
发明名称
Method and apparatus for improved semiconductor wafer polishing
摘要
申请公布号
GB9914083(D0)
申请公布日期
1999.08.18
申请号
GB19990014083
申请日期
1999.06.16
申请人
SPEEDFAM CORPORATION
发明人
分类号
B24B37/04
主分类号
B24B37/04
代理机构
代理人
主权项
地址
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