发明名称 AUTO TUNING PROBE
摘要
申请公布号 JPH11223667(A) 申请公布日期 1999.08.17
申请号 JP19980041403 申请日期 1998.02.06
申请人 JEOL LTD 发明人 SUDO MAKOTO
分类号 G01R33/32;G01R33/36;(IPC1-7):G01R33/32 主分类号 G01R33/32
代理机构 代理人
主权项
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