| 发明名称 |
PREPARATION OF LIQUID CLEANING AGENT AND SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11222600(A) |
申请公布日期 |
1999.08.17 |
| 申请号 |
JP19980329075 |
申请日期 |
1998.11.19 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
KATO NOBUHIRO;NOUJIYOU HARUKI |
| 分类号 |
C11D7/26;C11D7/36;C11D7/60;H01L21/304;(IPC1-7):C11D7/60 |
主分类号 |
C11D7/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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