发明名称 BREAKAGE DETECTING SYSTEM AND BREAKAGE DETECTING METHOD
摘要
申请公布号 JPH11223659(A) 申请公布日期 1999.08.17
申请号 JP19980023645 申请日期 1998.02.04
申请人 NISSAN MOTOR CO LTD 发明人 UEJIMA AKIYOSHI;KIMURA TAKASHI
分类号 G01R31/28;H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):G01R31/28 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
主权项
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