发明名称 |
BREAKAGE DETECTING SYSTEM AND BREAKAGE DETECTING METHOD |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPH11223659(A) |
申请公布日期 |
1999.08.17 |
申请号 |
JP19980023645 |
申请日期 |
1998.02.04 |
申请人 |
NISSAN MOTOR CO LTD |
发明人 |
UEJIMA AKIYOSHI;KIMURA TAKASHI |
分类号 |
G01R31/28;H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):G01R31/28 |
主分类号 |
G01R31/28 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|