| 发明名称 |
ELECTRON BEAM SCANNER AND SCANNING METHOD WITH ELECTRON BEAM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11223700(A) |
申请公布日期 |
1999.08.17 |
| 申请号 |
JP19980039756 |
申请日期 |
1998.02.05 |
| 申请人 |
MITSUBISHI HEAVY IND LTD |
发明人 |
YOSHIZUMI HIROSHI;HISANAGA NAOKI;SHINNOU YUUICHIROU |
| 分类号 |
G21K1/093;G21K5/04;(IPC1-7):G21K5/04 |
主分类号 |
G21K1/093 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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