发明名称 FILM INSPECTING METHOD, AND FILM INSPECTING DEVICE USING THE SAME
摘要
申请公布号 JPH11223608(A) 申请公布日期 1999.08.17
申请号 JP19980024963 申请日期 1998.02.05
申请人 SUMITOMO CHEM CO LTD 发明人 HIROSE OSAMU
分类号 G01N21/89;G01M11/00;G01N21/892;(IPC1-7):G01N21/89 主分类号 G01N21/89
代理机构 代理人
主权项
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