发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH11224947(A) 申请公布日期 1999.08.17
申请号 JP19980329698 申请日期 1998.11.19
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 SUGURO KYOICHI
分类号 H01L29/43;H01L21/28;H01L21/336;H01L21/822;H01L27/04;H01L29/49;H01L29/51;H01L29/78;H01L29/94;(IPC1-7):H01L29/78 主分类号 H01L29/43
代理机构 代理人
主权项
地址