发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11223658(A) 申请公布日期 1999.08.17
申请号 JP19980023198 申请日期 1998.02.04
申请人 TOSHIBA MICROELECTRONICS CORP;TOSHIBA CORP 发明人 KOSHI JUNICHI
分类号 G01R31/28;H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):G01R31/28 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
主权项
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