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发明名称 INTEGRATED DEVICE AND ENCODER USING THE SAME
摘要
申请公布号 JPH11224975(A) 申请公布日期 1999.08.17
申请号 JP19980023583 申请日期 1998.02.04
申请人 MITSUTOYO CORP 发明人 KUROKI HIROSHI
分类号 G01B11/00;H01L21/28;H01L21/60;H01L27/14;H01L31/02;H05K1/09;(IPC1-7):H05K1/09 主分类号 G01B11/00
代理机构 代理人
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