| 发明名称 |
COATING FILM FORMING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11224878(A) |
申请公布日期 |
1999.08.17 |
| 申请号 |
JP19980038148 |
申请日期 |
1998.02.04 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON LTD |
发明人 |
TAKESHITA KAZUHIRO;NAGASHIMA SHINJI;MIZUTANI YOJI |
| 分类号 |
G03F7/16;B05C9/08;B05C11/08;H01L21/31;H01L21/316;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/31 |
主分类号 |
G03F7/16 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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