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发明名称 WAFER WITH TEMPERATURE DETECTING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11224838(A) 申请公布日期 1999.08.17
申请号 JP19980036546 申请日期 1998.02.04
申请人 SAKAGUCHI DENNETSU KK 发明人 SATO AKIO
分类号 H01L21/66;H01L21/02;(IPC1-7):H01L21/02 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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