发明名称 FILM THICKNESS MONITOR AND FILM FORMING DEVICE USING THIS
摘要
申请公布号 JPH11222670(A) 申请公布日期 1999.08.17
申请号 JP19980041176 申请日期 1998.02.06
申请人 ULVAC CORP 发明人 NEGISHI TOSHIO
分类号 G01B17/02;C23C14/24;C23C14/52;H01L41/09;H03H3/04;(IPC1-7):C23C14/24 主分类号 G01B17/02
代理机构 代理人
主权项
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