| 发明名称 |
CHEMICAL AND MECHANICAL PLANARIZING SYSTEM AND ITS METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11224868(A) |
申请公布日期 |
1999.08.17 |
| 申请号 |
JP19980300538 |
申请日期 |
1998.10.22 |
| 申请人 |
MOTOROLA INC |
发明人 |
JAMES F BANEL;TODD W BAREY |
| 分类号 |
H01L21/304;B24B7/24;B24B37/04;B24B53/00;H01L21/302;(IPC1-7):H01L21/304 |
主分类号 |
H01L21/304 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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