发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH11224946(A) 申请公布日期 1999.08.17
申请号 JP19980039560 申请日期 1998.02.05
申请人 SEMICONDUCTOR ENERGY LAB CO LTD 发明人 MIYANAGA SHOJI;KUBO NOBUO
分类号 H01L29/78;H01L21/265;H01L21/266;H01L21/8234;H01L21/8238;H01L27/088;H01L29/10;(IPC1-7):H01L29/78;H01L21/823 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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