| 发明名称 |
MASS FLOW CONTROLLER FLOW RATE TESTING SYSTEM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH11223538(A) |
申请公布日期 |
1999.08.17 |
| 申请号 |
JP19980025508 |
申请日期 |
1998.02.06 |
| 申请人 |
CKD CORP |
发明人 |
HAYASHIMOTO SHIGERU;SAKAI ATSUYUKI |
| 分类号 |
G01F1/34;F15C1/04;G01F25/00;(IPC1-7):G01F1/34 |
主分类号 |
G01F1/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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