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发明名称 ELECTRON BEAM DRAWING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH11224636(A) 申请公布日期 1999.08.17
申请号 JP19980025594 申请日期 1998.02.06
申请人 JEOL LTD 发明人 NAKAGAWA YASUTOSHI
分类号 G03F7/20;H01J37/147;H01L21/027;(IPC1-7):H01J37/147 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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