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发明名称
摘要
申请公布号	JP2934454(B2)	申请公布日期	1999.08.16
申请号	JP19890145344	申请日期	1989.06.09
申请人	HITACHI SEISAKUSHO KK;HITACHI MAIKON SHISUTEMU KK;HITACHI CHO ERU ESU AI SHISUTEMUZU KK	发明人	MASUDA HIROO;SUGIHARA HITOSHI;IKEMATSU RYUICHI;MANO JUNICHI
分类号	G01R31/26;G06F17/50;H01L21/66;H01L29/78;(IPC1-7):G01R31/26	主分类号	G01R31/26
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