发明名称
摘要
申请公布号 JP2934244(B2) 申请公布日期 1999.08.16
申请号 JP19880063937 申请日期 1988.03.16
申请人 ADOBANTESUTO KK 发明人 HIRAKATA YOSHIHARU
分类号 G01R31/3183;G01R31/28;G11C29/00;G11C29/10;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/318 主分类号 G01R31/3183
代理机构 代理人
主权项
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