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发明名称
POSITIVE TYPE RESIST COMPOSITION
摘要
申请公布号
KR100216109(B1)
申请公布日期
1999.08.16
申请号
KR19950002706
申请日期
1995.02.14
申请人
NIPPON TELEGRAPH AND TELEPHONE CORP.(NT&T);SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD.
发明人
BAN, HIROSHI;TANAKA, AKINOBU;YAGIHASI, FUJIO;WATANABE, JUN;TAKAMIZAWA, MINORU
分类号
G03F7/004;G03F7/029;G03F7/039;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/039
主分类号
G03F7/004
代理机构
代理人
主权项
地址
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